Вакуумное оборудование - pyrs.ru

Десорбция, стимулированная синхротронным излучением и ионной бомбардировкой

Десорбция
0

Синхротронное излучение стимулирует десорбцию молекул с тех участков вакуумной камеры, на которые это излучение падает. Есть два вида такой десорбции. Тепловая десорбция вызывается нагревом стенок камеры при частичном поглощении в материале камеры синхротронного излучения. Фотодесорбция под действием синхротронного излучения, как принято считать, происходит в два этапа: фотоны имеют малое сечение десорбции молекул, но выбивают с поверхности фотоэлектроны, сечение десорбции которыми значительно выше. Выбитые электроны возвращаются к стенке камеры магнитным полем ускорителя. Оба механизма десорбции приводят к повышению давления в камере пропорционально току пучка.

Приближенное выражение для полного числа фотонов всех энергий, излучаемых электронами (или позитронами) в единицу времени (1с) на единице длины (1 м) вдоль орбиты, имеет вид излучения по всему спектру синхротронного излучения. Измеряют коэффициент электронно-стимулированной десорбции уэм, равный числу молекул, выбитых одним электроном, при облучении стенок камеры электронами от накаленного катода. После этого определяют поток синхротронно-стимулированной десорбции по формуле Qcc-д = 5 х х 1*105Э7эм, где Qcc д — в м3 • Па/с; /ф3 — в мА. Здесь учтено двукратное десорбирующее действие каждого электрона (при вылете и возврате).

Коэффициент электронно-стимулированной десорбции зависит в основном от степени заполнения поверхности молекулами и может иметь значения в очень широком диапазоне: от 10 до 1*108. При бомбардировке поверхности она очищается, а коэффициент у убывает. В электронных накопителях для достижения рабочего давления порядка 1*106 Па необходимо обеспечить снижение узм до значения порядка 1*105. Исходное значение удм после каждого напуска воздуха в вакуумную систему составляет примерно 0,1. Значение уэм = 1 СГ5 может быть достигнуто после нескольких недель работы с пучком или после обработки камеры в рабочем положении тлеющим разрядом в аргоне. Под действием синхротронного излучения со стенок освобождаются в основном четыре вида молекул: Н2, СЩ, СО2 и, если есть пары воды, Н2О. Поэтому умеренный отжиг до температуры около 500 К не оказывает заметного влияния на синхротронно-стимулированную десорбцию, так как при таких температурах удаляются только молекулы Н2О.

Максимальный фотоэлектронный ток в накопителе PETRA оценивается значением 250 мА на 1 м длины камеры при энергии частиц в пучках 14,5 ГэВ и их токах по 90 мА. При у = 1*105 это приводит к потоку десорбции асс.д = 1,25 * 1*107 м3 • Па/с на 1 м длины вакуумной камеры накопителя. Распределенные насосы с быстротой действия 0,125 м3/с на 1 м длины камеры обеспечивают достижение рабочего давления 1*106 Па. На практике часто используют коэффициент фотонно-стимулированной десорбции УфМ— Удобнее поток синхротронно-стимулированной десорбции на 1 м длины камеры оценивать по приближенному выражению, не содержащему фотоэлектронного тока:


При образовании на орбите протонного накопителя пучка большой интенсивности его положительный потенциал может быть достаточно высоким (более 1 кВ) и явиться причиной ускорения в поперечном направлении ионов остаточного газа, образованных тем же пучком. Ионы вызывают десорбцию молекул с очень сильной связью, которые удерживались на стенках при других процедурах предварительного обезга-живания камеры. Повышение давления в камере приводит к усилению ионизации и последующей ионно-стимулированной десорбции. Процесс может иметь тенденцию к насыщению при данном токе пучка со стабилизацией давления на более высоком по сравнению с исходным уровне, но возможно также его неограниченное развитие с лавинным ростом давления, т. е. неустойчивость вакуума. Энергия связи молекул может варьировать в широких пределах: от (0,4 — 2) • 1*102 эВ при многослойной конденсации молекул до 4 — 20 эВ при хемосорбции газов поверхностью. Отжиг поверхности в течение нескольких часов при температуре Т эффективно устраняет газы с энергией связи молекул TI (450 — 500) эВ. Обычно температура обезгаживания не превышает 600 К, что соответствует десорбции газов с энергией связи около 1 эВ, т. е. связанных физической адсорбцией, но не хемосорбцией, как, например, СО, С2Н4, С2Н2, О2, СН4.

Важную роль играет коэффициент ионной десорбции уи (число молекул, выбиваемых одним ионом), который сложным образом зависит от состояния поверхности, от вида и энергии падающего иона. Принято рассматривать как разность =7i _72, где 71 — число молекул газа, освобождаемых одним ионом при ударе о поверхность; у2 — вероятность сорбции первичного иона на поверхности. Поскольку у2 1, то, очевидно, —1. Обозначим степень заполнения поверхности связанными молекулами Член yj доминирует в случае необезгаженных или загрязненных поверхностей. Можно ожидать пропорциональной зависимости уи д от 1 при значениях 1 и стремления 7И д к —1 при малых Это можно трактовать как откачку пучком, поскольку при 7и д 0 давление в камере в присутствии пучка частиц будет понижаться. При средних и больших энергиях ионов (И/и 500 эВ) доминирует член 71, а 7 “ ИЛ. При более низких энергиях ионов заметный вклад в у вносят оба члена и у2.

Эффективность теплового обезгаживания камеры показана на рис. 1.5. Прогрев при Т = 613 К снижает 7и на порядок по сравнению с прогревом при 573 К. Состав десорбируемого газа в обоих случаях примерно одинаков: 40% Н2, 40% СО, 20% осколков легких углеводородов. Для более глубокой очистки стенок камеры естественно использовать обез-гаживание их бомбардировкой ионами в газовом разряде, которое аналогично эффекту ионной десорбции под действием пучка протонов. В качестве газовой среды при этом используется аргон при давлении порядка 1 Па, так как он не сорбируется стенками химически и легко удаляется прогревом после физической адсорбции. Десорбируемые моле-

Для накопителя PETRA была найдена эмпирическая зависимость роста давления при включении пучка от интегральной дозы тренировки” камеры пучком:

Эффективно удаляются прокачкой газового носителя в вязкостном режиме, а реадсорбция их ослабляется поддержанием камеры в нагретом состоянии при разряде.

При теоретическом рассмотрении устойчивости давления в крупных протонных накопителях исходное уравнение записывается в виде (А — площадь сечения камеры) :


Решение зависит от параметра Ь. При Ь = 0 отсутствуют десорбция под действием ионов и реадсорбция молекул на стенках камеры. Решение уравнения (1.20) при b =0 описывает параболу с максимумом при х=0. Случай b 0 соответствует отрицательному значению коэффициента ионно-стимулированной десорбции. Он может иметь место: при хорошо очищенных стенках вакуумной камеры; в отсутствие пучка при больших значениях /3; в протяженных камерах со встроенными распределенными насосами.




Случай b 0 наиболее важен, так как он может привести к вакуумной неустойчивости; решение имеет вид:






Описанное выше явление неустойчивости давления в протонных накопителях при ионно-стимулированной десорбции представляет собой частный пример проявления свойств нелинейных ВС. В гл. 3 изложен общий подход к анализу процессов в нелинейных вакуумных системах независимо от конкретного механизма нелинейности и приведен обобщенный критерий их стационарности.

В ИФВЭ были проведены эксперименты по изучению влияния пучка на давление. Для ВС протонного синхротрона при числе ускоряемых протонов 2,5 • 1013 (ток 8 * 102 А) было определено критическое значение 7И кп = 60- Для газа с массовым числом 28 (N2 + СО), дающего 70%-ныивклад в полное давление, начальное (до инжекции) и конечное (при плоской вершине) давления равны 2,15 • 1*105 и 2,5 • 10Г5 Па. Отсюда было найдено 7И д ~ 12,5. После обработки вакуумной камеры тлеющим разрядом в аргоне измеренное значение 7и составило 1,5 ± 0,6. В связи с разработкой в ИФВЭ ускорительно-накопительного комплекса (УНК) было выполнено исследование ионно-стимулированной десорбции на модели камеры УНК при температурах 300 и 77 К. В камере вдоль оси был натянут изолированный электрод для возбуждения тлеющего разряда в аргоне при обработке камеры. Коэффициент 7и определялся из соотношения числа молекул газа, выделившихся со стенок камеры и переходящих в газовую фазу за время ионной бомбардировки, к числу ионов, прошедших через разряд за то же время. Показанное на рис. 1.6 поведение 7и предположительно связано с эффектом очистки поверхности камеры ионной бомбардировкой и с десорбцией газа, растворенного в приповерхностном слое металла, под действием внедряемых ионов. Значение 7И д 0 при Т = 77 К может быть связано с реадсорбцией освобожденных атомов на холодной стенке и с внедрением ионов в толщу стенки. При этом поток внедряемых атомов превышает поток реэмиссии газа из приповерхностной области металла.

Технологическая обработка вакуумных камер ускорителей и накопителей нового поколения стала одцим из главных факторов, обусловливающих получение необходимых низких давлений, она требует системного подхода и физических исследований. Термическое обезгаживание камеры In situ (на рабочем месте) в типичном режиме (600 К, 24 ч) снижает поток тепловой десорбции с единицы поверхности нержавеющей стали до значений, меньших 109 м • Па/с, причем примерно 99% этого остаточного потока составляет водород, диффундирующий из толщи стенки. Как показал опыт, эффективной процедурой очистки камер, предназначенных для сверхвысокого вакуума, является обработка тлеющим разрядом. В ЦЕРНе для этого используется смесь 90% Аг и 10% О2 при давлении 3 Па. Для получения хороших результатов требуется флюенс порядка 1018 см2.


На рис. 1.7 показан типичный пример динамики газового состава в камере во время очистки ее тлеющим разрядом. Площадь под кривой для СО соответствует 28 монослоям этого газа, которые сохранились при прогреве до 600 К. Проверка методом оже-спектроскопии подтвердила значительное сокращение содержания углерода в приповерхностных слоях под влиянием разряда, особенно при добавлении к аргону примеси кислорода.

Leave A Reply